PPR100/200/300真空过程监视系统 入口压强从10mτ到10τ 减压入口使流速低达3x 10-5τl/s 入口压强为0.1τ时响应时间为2秒(随压强线性定标) 现场可更换的电子倍增器和灯丝 四极质谱仪具有100,200和300 amu的量程 单次扫描中6个量级的动态范围 Windows软件,快速数据采集和控制
产品详细资料
美国Stanford Research Systems, Inc.公司